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        影響鎢燈絲掃描電鏡性能之電子光學合軸

        發布時間:2021-05-14

          影響鎢燈絲掃描電鏡性能之電子光學合軸:


          鎢燈絲掃描電鏡的電子光學系統由電子槍、聚光鏡、物鏡以及物鏡光闌等組合而成。電子槍發射的電子一定要沿著這些部件的中心軸線穿過,因此要調整這些部件同軸,調整同軸的過程稱之為合軸,合軸也稱之為對中。合軸后圖像亮度最亮,像差最小,分辨率最高,合軸是束流穩定的一個關鍵因素其中之一。合軸主要包含電子槍合軸還有光闌合軸。


          替換燈絲與在燈絲使用過程當中,電子槍燈絲發射的電子要和聚光鏡還有物鏡的光軸對中調節,稱之為鏡筒合軸,或者稱之為電子槍合軸。電子槍合軸能夠進行機械調節還有自動合軸。合軸是通過電子源的傾斜校正還有水平校正進行調節,讓燈絲發射的電子和聚光鏡以及物鏡的光軸重合,合軸后圖像的亮度最高。


          不同型號的鎢燈絲掃描電鏡的物鏡光闌孔徑的數量也不一樣。要得到高分辨率圖像還有穩定的束流,在物鏡光闌交換以及光闌清洗之后,需要重新調整物鏡光闌孔徑的位置,讓物鏡光闌孔徑位置在物鏡極靴的中心,這種調節過程稱之為物鏡光闌合軸。物鏡光闌合軸后,電子束通過物鏡與光闌的中心。光闌位置有偏離的時候,圖像的像差會變大,沒有辦法得到高分辨率的圖像,束流也不穩固。


          光闌合軸是通過光闌的x,y方向移動旋鈕進行調節,調節之后通過圖像聚焦,來觀察圖像是不是有移動,假如是高倍(比方說10000X)圖像在聚焦過程當中不發生圖像移動,并且束流最大,表示光闌合軸良好。能夠通過選定SEM的Wobbler按鈕,觀察圖像的擺動大小,隨之進行x,y方向移動調節,讓圖像沒有辦法移動表示合軸良好。





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